将玻璃、陶瓷、不锈钢（非塑料材质的）的碗中，加入沸水，滴入2到3滴植物精油，将脸贴近碗口，深呼吸3-5分钟即可。最好是头部盖上大毛巾，防止蒸汽流失。
精油使用的过程中需要注意不可经常太高剂量使用。要想达到疗效，通常都要低剂量，并持续一段时间，这样调理身体机能的效果是比较好的，平常使用浓度还是以35%为宜；较危险的精油，则以不超过3%为准。
光敏性精油不要用在会晒到太阳之处，有些精油会含有引起光敏感的成分，使用后如果晒到太阳，皮肤会变黑，甚至引发皮肤病。光敏性也有轻重之分，轻微的如葡萄柚油，晚上低剂量使用，隔天晒到太阳没关系。但是香柑橘类精油例如柠檬油、佛手柑油、桔子油、甜橙油等，都是具有光敏性的精油，并且精油浓度极高，因此不可接触眼睛。精油内服必须经专家或厂家说明，品质好的精油可以内服，但不是所有精油都可以内服，而且精油品质良莠不齐，如果无法判断精油的好坏，就不要口服精油。
皮肤上有伤口时，精油要避免用于伤口上，即便是要使用也要先做皮肤测试，先调好浓度，使用在腋下或胸口，至少24小时后没有过敏现象，才可以使用。除了薰衣草、茶树精油可以直接使用于皮肤外，其他植物精油都必须加基础油稀释后才能用于皮肤。同一种精油持续使用不要超过三周，要避免单方精油天天使用。
